超纯水：又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除水分子外，不含其它杂质，如细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，也没有人体所需的矿物质等微量元素，即是去除氧和氢以外所有原子的水。可用于超纯材料（半导体元件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。纯水：就是去掉了水中的全部电解质与非电解质，也可以说是去掉了水中的全部非水物质。基本都用反渗透法制得。由于在反渗透预处理中绝大多数都先用活性碳去除了部分非电解质，并且电导率非常容易测量，所以纯水纯度往往也用电导率衡量。蒸馏水：蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。双蒸水：是重蒸水的一种，无菌是说没有细菌，重蒸水是将经过一次蒸馏后的水，再次蒸馏所得到的水。
去离子水：是一种经过特殊处理的纯净水，通过去除水中的离子和杂质，使水的电导率极低，从而达到纯净水的效果。去离子水的主要成分是氢氧根离子（OH-）和氢离子（H+），这两种离子的浓度极低，使得去离子水的PH值非常接近于中性，一般在6.5-7.5之间。去离子水是一种非常纯净的水，它的应用范围非常广泛，在实验室、工业生产、医疗卫生、饮用水和水源纯化等方面，都有重要的应用价值。